Influence of the Hydrogen Content on the Physical Properties of Magnetron Sputtered Amorphous Silicon / F., Demichelis; E., Mezzetti; P., Rava; Tagliaferro, Alberto; Tresso, Elena Maria; P., Mazzoldi; G. A., DELLA MEA. - In: JOURNAL OF NON-CRYSTALLINE SOLIDS. - ISSN 0022-3093. - 77-78:(1985), pp. 269-272.

Influence of the Hydrogen Content on the Physical Properties of Magnetron Sputtered Amorphous Silicon

TAGLIAFERRO, Alberto;TRESSO, Elena Maria;
1985

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