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In situ etch treatments of silicon carbide epitaxial layer for morphological quality improvement of the surfaces / S., DE ANGELIS; Perrone, Denis; Scaltrito, Luciano; Ferrero, Sergio; Pirri, Candido; M., Mauceri; S., Leone; G., Pistone; G., Abbondanza; D., Crippa. - In: PHYSICA STATUS SOLIDI. A, APPLICATIONS AND MATERIALS SCIENCE. - ISSN 1862-6300. - 203:(2006), pp. 2294-2297.

In situ etch treatments of silicon carbide epitaxial layer for morphological quality improvement of the surfaces

PERRONE, DENIS;SCALTRITO, LUCIANO;FERRERO, SERGIO;PIRRI, Candido;
2006
2006
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