Archivio Istituzionale della RicercaIn situ etch treatments of silicon carbide epitaxial layer for morphological quality improvement of the surfaces / S., D.A., Perrone, D., Scaltrito, L., Ferrero, S., Pirri, C., M., M., S., L., G., P., G., A., D., C.. - In: PHYSICA STATUS SOLIDI. A, APPLICATIONS AND MATERIALS SCIENCE. - ISSN 1862-6300. - 203:(2006), pp. 2294-2297.
In situ etch treatments of silicon carbide epitaxial layer for morphological quality improvement of the surfaces
PERRONE, DENIS;SCALTRITO, LUCIANO;FERRERO, SERGIO;PIRRI, Candido;
2006
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https://hdl.handle.net/11583/1661279
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