Deposition and characterization of boron nitride films grown by sputtering / F. GIORGIS; C. APPIANO; G. CROVINI; F. DEMICHELIS; G. MINA; PIRRI C.; P. RAVA; E. TRESSO. - In: VUOTO. - ISSN 0391-3155. - 26(1997), pp. 24-28.
Titolo: | Deposition and characterization of boron nitride films grown by sputtering | |
Autori: | ||
Data di pubblicazione: | 1997 | |
Rivista: | ||
Appare nelle tipologie: | 1.1 Articolo in rivista |
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http://hdl.handle.net/11583/1661246
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