Study of gap states and photoelectrical properties of a-SiC:H films deposited by PECVD in SiH4+CH4 gas mixtures / U., Coscia; G., Ambrosone; C., Catalanotti; F., Demichelis; Giorgis, Fabrizio; Pirri, Candido; Tresso, Elena Maria; P., Rava. - In: VUOTO. - ISSN 0391-3155. - 25:(1996), pp. 38-45.

Study of gap states and photoelectrical properties of a-SiC:H films deposited by PECVD in SiH4+CH4 gas mixtures

GIORGIS, FABRIZIO;PIRRI, Candido;TRESSO, Elena Maria;
1996

1996
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