Study of physical properties of boron nitride and carbon nitride films grown by sputtering / G., F., F., G., Pirri, C., Tresso, E.M., Tagliaferro, A., C., D., P., R.. - In: DIFFUSION AND DEFECT DATA, SOLID STATE DATA. PART A, DEFECT AND DIFFUSION FORUM. - ISSN 1012-0386. - 234-235:(1996), pp. 3-10.

Study of physical properties of boron nitride and carbon nitride films grown by sputtering

PIRRI, Candido;TRESSO, Elena Maria;TAGLIAFERRO, Alberto;
1996

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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/11583/1661233
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