Study of physical properties of boron nitride and carbon nitride films grown by sputtering / G., Fusco; F., Giorgis; Pirri, Candido; Tresso, Elena Maria; Tagliaferro, Alberto; C., Demartino; P., Rava. - In: DIFFUSION AND DEFECT DATA, SOLID STATE DATA. PART A, DEFECT AND DIFFUSION FORUM. - ISSN 1012-0386. - 234-235:(1996), pp. 3-10.
Study of physical properties of boron nitride and carbon nitride films grown by sputtering
PIRRI, Candido;TRESSO, Elena Maria;TAGLIAFERRO, Alberto;
1996
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https://hdl.handle.net/11583/1661233
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