Light soaking in a-SiC:H films grown by PECVD in undiluted and hydrogen diluted SiH4+CH4 gas mixtures / M., F., R., G., G., C., F., D., Giorgis, F., Pirri, C., Tresso, E.M., P., R.. - In: JOURNAL OF NON-CRYSTALLINE SOLIDS. - ISSN 0022-3093. - 198/199:(1996), pp. 490-492.

Light soaking in a-SiC:H films grown by PECVD in undiluted and hydrogen diluted SiH4+CH4 gas mixtures

GIORGIS, FABRIZIO;PIRRI, Candido;TRESSO, Elena Maria;
1996

1996
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