Compositional, optoelectronic and structural properties of amorphous hydrogenated silicon-nitrogen alloys deposited by PECVD / F. GIORGIS; P. RAVA; R. GALLONI; R. RIZZOLI; C. SUMMONTE; G. CROVINI; F. DEMICHELIS; PIRRI C.; E. TRESSO; V. RIGATO. - In: JOURNAL OF NON-CRYSTALLINE SOLIDS. - ISSN 0022-3093. - 198/199(1996), pp. 596-599.
Titolo: | Compositional, optoelectronic and structural properties of amorphous hydrogenated silicon-nitrogen alloys deposited by PECVD | |
Autori: | ||
Data di pubblicazione: | 1996 | |
Rivista: | ||
Appare nelle tipologie: | 1.1 Articolo in rivista |
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http://hdl.handle.net/11583/1661229
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