Compositional and structural properties of a-SiN:H films deposited by PECVD / Demichelis, Francesca; Giorgis, Fabrizio; Pirri, Candido. - In: PHILOSOPHICAL MAGAZINE. B. PHYSICS OF CONDENSED MATTER. STATISTICAL MECHANICS, ELECTRONIC, OPTICAL AND MAGNETIC PROPERTIES. - ISSN 1364-2812. - 74:(1996), pp. 155-163.
Compositional and structural properties of a-SiN:H films deposited by PECVD
DEMICHELIS, Francesca;GIORGIS, FABRIZIO;PIRRI, Candido
1996
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https://hdl.handle.net/11583/1661227
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