Compositional and structural properties of a-SiC:H films prepared by UHV-PECVD with different carbon sources / F., Demichelis; Giorgis, Fabrizio; Pirri, Candido; Tresso, Elena Maria. - In: PHILOSOPHICAL MAGAZINE. A. PHYSICS OF CONDENSED MATTER. DEFECTS AND MECHANICAL PROPERTIES. - ISSN 0141-8610. - 72:(1995), pp. 913-921.

Compositional and structural properties of a-SiC:H films prepared by UHV-PECVD with different carbon sources

GIORGIS, FABRIZIO;PIRRI, Candido;TRESSO, Elena Maria
1995

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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/11583/1661221
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