Comparison between methane and acetylene as carbon sources for C-rich a-SiC:H films / F. DEMICHELIS; G. CROVINI; F. GIORGIS; PIRRI C.; E. TRESSO. - In: DIAMOND AND RELATED MATERIALS. - ISSN 0925-9635. - 4(1995), pp. 457-460.
Titolo: | Comparison between methane and acetylene as carbon sources for C-rich a-SiC:H films | |
Autori: | ||
Data di pubblicazione: | 1995 | |
Rivista: | ||
Appare nelle tipologie: | 1.1 Articolo in rivista |
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http://hdl.handle.net/11583/1661219
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