Study of amorphous and microcrystalline hydrogenated silicon carbon alloys deposited by PECVD / F. DEMICHELIS; G. CROVINI; PIRRI C.; E. TRESSO; P. RAVA. - In: VUOTO. - ISSN 0391-3155. - 13(1994), pp. 91-94.
Titolo: | Study of amorphous and microcrystalline hydrogenated silicon carbon alloys deposited by PECVD | |
Autori: | ||
Data di pubblicazione: | 1994 | |
Rivista: | ||
Appare nelle tipologie: | 1.1 Articolo in rivista |
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http://hdl.handle.net/11583/1661214
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