Power dissipation in PECVD for SiH4-CH4-H2 gas mixtures / P., Rava; G., Crovini; F., Demichelis; Giorgis, Fabrizio; R., Galloni; R., Rizzoli; C., Summonte. - In: JOURNAL DE PHYSIQUE IV. - ISSN 1155-4339. - 5:(1995), p. 1125.
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https://hdl.handle.net/11583/1661157
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