Characterization of the effect of growth conditions on a-SiC:H films / P. RAVA; G. CROVINI; F. DEMICHELIS; GIORGIS F.; C. F. PIRRI. - In: JOURNAL OF APPLIED PHYSICS. - ISSN 0021-8979. - 80(1996), p. 4116.
Titolo: | Characterization of the effect of growth conditions on a-SiC:H films | |
Autori: | ||
Data di pubblicazione: | 1996 | |
Rivista: | ||
Appare nelle tipologie: | 1.1 Articolo in rivista |
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http://hdl.handle.net/11583/1661150
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