Physical properties of boron-nitride and carbon-nitride films deposited by sputtering / G., Fusco; C., DE MARTINO; Giorgis, Fabrizio; Pirri, Candido; P., Rava; Tagliaferro, Alberto; Tresso, Elena Maria. - In: DIFFUSION AND DEFECT DATA, SOLID STATE DATA. PART A, DEFECT AND DIFFUSION FORUM. - ISSN 1012-0386. - 124-125:(1996), p. 3.
Physical properties of boron-nitride and carbon-nitride films deposited by sputtering
GIORGIS, FABRIZIO;PIRRI, Candido;TAGLIAFERRO, Alberto;TRESSO, Elena Maria
1996
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https://hdl.handle.net/11583/1661148
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