Optoelectronic and structural properties of amorphous silicon-carbon alloys deposited by low-power electron-cyclotron resonance plasma-enhanced chemical-vapor deposition / J. P., C., V., C., M. F., D.S., A., K., Z., D., J. C., S., S., A., A., F., M. N., B.S., Giorgis, F., Pirri, C.. - In: JOURNAL OF APPLIED PHYSICS. - ISSN 0021-8979. - 85:(1999), p. 3327.

Optoelectronic and structural properties of amorphous silicon-carbon alloys deposited by low-power electron-cyclotron resonance plasma-enhanced chemical-vapor deposition

GIORGIS, FABRIZIO;PIRRI, Candido
1999

1999
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