Ion beam processing of a-SiC:H grown by PECVD / L., Calcagno; Giorgis, Fabrizio; A., Makhtari; P., Musumeci; R., Reitano. - In: PHILOSOPHICAL MAGAZINE. B. - ISSN 1463-6417. - 80:(2000), p. 539.
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https://hdl.handle.net/11583/1661130
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