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EnglishThis work is focused on the developing of silicon resonant microcantilevers for the measurement of the absolute pressure. The microcantilevers have been fabricated with a two-mask bulk micromachining process. The variation in resonance response of microcantilevers was investigated as a function of pressure 10−1–105 Pa, both in terms of resonance frequency and quality factor. A theoretical description of the resonating microstructure is given according to different molecular and viscous regimes. Also a brief discussion on the different quality factors contributions is presented. Theoretical and experimental data show a very satisfying agreement. The microstructure behavior demonstrates a certain sensitivity over a six decade range and the potential evolution of an absolute pressure sensor working in the same range.
| Titolo: | Silicon resonant microcantilevers for absolute pressure measurement |
| Autori: | |
| Data di pubblicazione: | 2006 |
| Rivista: | |
| Digital Object Identifier (DOI): | 10.1116/1.2214698 |
| Appare nelle tipologie: | 1.1 Articolo in rivista |
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| File | Descrizione | Tipologia | Licenza | |
|---|---|---|---|---|
| Silicon resonant microcantilevers.pdf | 1. Pre-print | PUBBLICO - Tutti i diritti riservati | Visibile a tuttiVisualizza/Apri |
http://hdl.handle.net/11583/1648789
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