Archivio Istituzionale della RicercaIn situ etch treatment of bulk surface for epitaxial layer growth optimization / Pirri, C., Ferrero, S., Scaltrito, L., Perrone, D., S., D.A., M., M., S., L., G., P., G., A., D., C.. - In: MICROELECTRONIC ENGINEERING. - ISSN 0167-9317. - 83:(2006), pp. 82-85.
In situ etch treatment of bulk surface for epitaxial layer growth optimization
PIRRI, Candido;FERRERO, SERGIO;SCALTRITO, LUCIANO;PERRONE, DENIS;
2006
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https://hdl.handle.net/11583/1647139
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