Archivio Istituzionale della RicercaCharacterization of silicon carbide thin films grown on Si and SiO2/Si substrates / P., Z., E., B., Ricciardi, C., G., B., L. E., D.. - In: MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B-SOLID STATE MATERIALS FOR ADVANCED TECHNOLOGY. - ISSN 0921-5107. - 114-115:(2004), pp. 279-283.
Characterization of silicon carbide thin films grown on Si and SiO2/Si substrates
RICCIARDI, Carlo;
2004
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https://hdl.handle.net/11583/1646670
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