Microstructure analysis of a-SiC : H thin films grown by high-growth-rate PECVD / Ricciardi, Carlo; A., Primiceli; G., Germani; A., Rusconi; Giorgis, Fabrizio. - In: JOURNAL OF NON-CRYSTALLINE SOLIDS. - ISSN 0022-3093. - 352:9-20(2006), pp. 1380-1383. [10.1016/j.jnoncrysol.2005.11.137]
Microstructure analysis of a-SiC : H thin films grown by high-growth-rate PECVD
RICCIARDI, Carlo;GIORGIS, FABRIZIO
2006
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https://hdl.handle.net/11583/1646605
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