Archivio Istituzionale della RicercaAn optical study of the correlation between growth kinetics and microstructure of mu c-Si grown by SiH(4)-H(2)PECVD / M. M., Giangregorio; M., Losurdo; A., Sacchetti; P., Capezzuto; Giorgis, Fabrizio; G., Bruno. - In: APPLIED SURFACE SCIENCE. - ISSN 0169-4332. - 253:1(2006), pp. 287-291. [10.1016/j.apsusc.2006.05.094]
An optical study of the correlation between growth kinetics and microstructure of mu c-Si grown by SiH(4)-H(2)PECVD
GIORGIS, FABRIZIO;
2006
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https://hdl.handle.net/11583/1605147
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