Magnetron Sputtered Amorphous Silicon / Demichelis, F.; Rava, P.; Tagliaferro, Alberto; Tresso, Elena Maria. - In: JOURNAL OF APPLIED PHYSICS. - ISSN 0021-8979. - 57:(1985), pp. 5424-5424.

Magnetron Sputtered Amorphous Silicon

TAGLIAFERRO, Alberto;TRESSO, Elena Maria
1985

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