Physical properties of ECR-CVD polycrystalline SiC films for Micro-Electro-Mechanical-Systems / Ricciardi, Carlo; Fanchini, G.; Mandracci, Pietro. - In: DIAMOND AND RELATED MATERIALS. - ISSN 0925-9635. - 12:(2003), pp. 1236-1240.

Physical properties of ECR-CVD polycrystalline SiC films for Micro-Electro-Mechanical-Systems

RICCIARDI, Carlo;MANDRACCI, Pietro
2003

2003
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