Physical properties of ECR-CVD polycrystalline SiC films for Micro-Electro-Mechanical-Systems / RICCIARDI C.; FANCHINI G.; MANDRACCI P.. - In: DIAMOND AND RELATED MATERIALS. - ISSN 0925-9635. - 12(2003), pp. 1236-1240.
Titolo: | Physical properties of ECR-CVD polycrystalline SiC films for Micro-Electro-Mechanical-Systems |
Autori: | |
Data di pubblicazione: | 2003 |
Rivista: | |
Appare nelle tipologie: | 1.1 Articolo in rivista |
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http://hdl.handle.net/11583/1402516
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