A capacitive tranducer for monitoring tridimensional submicrometric displacements / Cabiati, F.; Giaretto, Valter; Miraldi, Elio. - In: REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS. - ISSN 0034-6748. - 71:(2000), pp. 1887-1895.

A capacitive tranducer for monitoring tridimensional submicrometric displacements

GIARETTO, Valter;MIRALDI, ELIO
2000

2000
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