Structural and optical investigation of plasma deposited silicon carbon alloys: Insights on Si-C bond configuration using spectroscopic ellipsometry / M., Losurdo; M., Giangregorio; P., Capezzuto; G., Bruno; Giorgis, Fabrizio. - In: JOURNAL OF APPLIED PHYSICS. - ISSN 0021-8979. - 96:(2005), p. 3987.
Structural and optical investigation of plasma deposited silicon carbon alloys: Insights on Si-C bond configuration using spectroscopic ellipsometry
GIORGIS, FABRIZIO
2005
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https://hdl.handle.net/11583/1401107
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