Structural and optical investigation of plasma deposited silicon carbon alloys: Insights on Si-C bond configuration using spectroscopic ellipsometry / M., Losurdo; M., Giangregorio; P., Capezzuto; G., Bruno; Giorgis, Fabrizio. - In: JOURNAL OF APPLIED PHYSICS. - ISSN 0021-8979. - 96:(2005), p. 3987.

Structural and optical investigation of plasma deposited silicon carbon alloys: Insights on Si-C bond configuration using spectroscopic ellipsometry

GIORGIS, FABRIZIO
2005

2005
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