Growth process analysis of a-Si1-xNx:H films probed by X-ray reflectivity / Bontempi, E.; Depero, L. E.; Sangaletti, L.; Giorgis, Fabrizio; Pirri, Candido. - In: MATERIALS CHEMISTRY AND PHYSICS. - ISSN 0254-0584. - 66:(2000), pp. 162-162.

Growth process analysis of a-Si1-xNx:H films probed by X-ray reflectivity

GIORGIS, FABRIZIO;PIRRI, Candido
2000

2000
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