Micro-Raman characterization of mc-Si:H films deposited by PECVD, mc-SiC:H deposited by ECR-CVD and 6H-SiC wafers / Ferrero, Sergio; Giorgis, Fabrizio; Pirri, Candido; Mandracci, Pietro; Cicero, Giancarlo; Ricciardi, Carlo. - (2002), pp. 113-130.

Micro-Raman characterization of mc-Si:H films deposited by PECVD, mc-SiC:H deposited by ECR-CVD and 6H-SiC wafers

FERRERO, SERGIO;GIORGIS, FABRIZIO;PIRRI, Candido;MANDRACCI, Pietro;CICERO, Giancarlo;RICCIARDI, Carlo
2002

9781586032623
State of the Art and Future Development in Raman Spectroscopy and Related Techniques
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