Semic. and Thin Films, Ann. Chim. Fr. 19, 441 (1994)

Effect of pressure and hydrogen dilution on a-SiC:H films / M., Fathallah; R., Gharbi; F., Demichelis; Pirri, Candido; E., Tresso; G., Crovini. - 19:(1994), pp. 441-445.

Effect of pressure and hydrogen dilution on a-SiC:H films

PIRRI, Candido;
1994

Abstract

Semic. and Thin Films, Ann. Chim. Fr. 19, 441 (1994)
File in questo prodotto:
Non ci sono file associati a questo prodotto.
Pubblicazioni consigliate

Caricamento pubblicazioni consigliate

I documenti in IRIS sono protetti da copyright e tutti i diritti sono riservati, salvo diversa indicazione.

Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: http://hdl.handle.net/11583/1661333
 Attenzione

Attenzione! I dati visualizzati non sono stati sottoposti a validazione da parte dell'ateneo