RENAUD, PHILIPPE

RENAUD, PHILIPPE  

Dipartimento Scienza Applicata e Tecnologia  

046553  

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Fabrication of clamped-clamped beam resonators with embedded fluidic nanochannel / Scaiola, D.; Stassi, S.; Calmo, R.; Maillard, D.; Varricchio, S. S. G.; De Pastina, A.; Villanueva, G.; Renaud, P.; Ricciardi, C.. - In: MICROELECTRONIC ENGINEERING. - ISSN 0167-9317. - 231:(2020), p. 111395. [10.1016/j.mee.2020.111395] 1-gen-2020 Scaiola D.Stassi S.Calmo R.Villanueva G.Renaud P.Ricciardi C. + 50-Fabrication of clamped-clamped beam resonators with embedded fluidic nanochannel.pdfFabrication of clamped-clamped beam resonators with embedded fluidic nanochannel.pdf