GRANGE, GIANMARCO

GRANGE, GIANMARCO  

Dipartimento Scienza Applicata e Tecnologia  

017328  

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Real-time temperature measurement during a laser annealing process featuring a microthermocouple array: Exploiting nano and micro-metrology / Chiolerio, Alessandro; Pandolfi, Paolo; Maccioni, Gabriele; Sacco, Adriano; Perrone, Denis; Grange, Gianmarco. - In: MICROELECTRONIC ENGINEERING. - ISSN 0167-9317. - STAMPA. - 88:(2011), pp. 2484-2488. [10.1016/j.mee.2011.02.039] 1-gen-2011 CHIOLERIO, ALESSANDROPANDOLFI, PAOLOMACCIONI, GABRIELESACCO, ADRIANOPERRONE, DENISGRANGE, GIANMARCO -