Surface analysis and defect characterization of 4H–SiC wafers for power electronic device applications / Scaltrito, Luciano; Fanchini, Giovanni; Porro, Samuele; Cocuzza, Matteo; Giorgis, Fabrizio; Pirri, Candido; Mandracci, Pietro; Ricciardi, Carlo; Ferrero, Sergio; Sgorlon, Corrado; G., Richieri; L., Merlin. - In: DIAMOND AND RELATED MATERIALS. - ISSN 0925-9635. - 12:(2003), pp. 1224-1226. [10.1016/S0925-9635(02)00310-2]

Surface analysis and defect characterization of 4H–SiC wafers for power electronic device applications

SCALTRITO, LUCIANO;FANCHINI, Giovanni;PORRO, SAMUELE;COCUZZA, MATTEO;GIORGIS, FABRIZIO;PIRRI, Candido;MANDRACCI, Pietro;RICCIARDI, Carlo;FERRERO, SERGIO;SGORLON, CORRADO;
2003

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