Reliability of MEMS: effects of different stress conditions and mechanical fatigue failure detection / Soma', Aurelio; DE PASQUALE, Giorgio. - (2010), pp. 72-80. (Intervento presentato al convegno Proc. of the VIth International Conference on Perspective Technologies and Methods in MEMS Design (MEMSTECH) tenutosi a Lviv (Ukraine) nel 20-23 April 2010).
Reliability of MEMS: effects of different stress conditions and mechanical fatigue failure detection
SOMA', AURELIO;DE PASQUALE, GIORGIO
2010
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https://hdl.handle.net/11583/2371216
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