Reliability of MEMS: effects of different stress conditions and mechanical fatigue failure detection / Soma', Aurelio; DE PASQUALE, Giorgio. - (2010), pp. 72-80. (Intervento presentato al convegno Proc. of the VIth International Conference on Perspective Technologies and Methods in MEMS Design (MEMSTECH) tenutosi a Lviv (Ukraine) nel 20-23 April 2010).

Reliability of MEMS: effects of different stress conditions and mechanical fatigue failure detection

SOMA', AURELIO;DE PASQUALE, GIORGIO
2010

2010
9781424473250
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