Growth and characterization of SiC layers obtained by microwave-CVD / Mandracci, Pietro; Ferrero, Sergio; Cicero, Giancarlo; Giorgis, Fabrizio; Pirri, Candido; G., Barucca; R., Reitano; P., Musumeci; L., Calcagno; G., Foti. - In: THIN SOLID FILMS. - ISSN 0040-6090. - 383:(2001), pp. 169-174.

Growth and characterization of SiC layers obtained by microwave-CVD

MANDRACCI, Pietro;FERRERO, SERGIO;CICERO, Giancarlo;GIORGIS, FABRIZIO;PIRRI, Candido;
2001

2001
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