Deposition and characterization of boron nitride films grown by sputtering / Giorgis, Fabrizio; C., Appiano; G., Crovini; F., Demichelis; G., Mina; Pirri, Candido; P., Rava; E., Tresso. - In: VUOTO. - ISSN 0391-3155. - 26:(1997), pp. 24-28.

Deposition and characterization of boron nitride films grown by sputtering

GIORGIS, FABRIZIO;PIRRI, Candido;
1997

1997
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