Deposition and characterization of boron nitride films grown by sputtering / Giorgis, Fabrizio; C., Appiano; G., Crovini; F., Demichelis; G., Mina; Pirri, Candido; P., Rava; E., Tresso. - In: VUOTO. - ISSN 0391-3155. - 26:(1997), pp. 24-28.
Deposition and characterization of boron nitride films grown by sputtering
GIORGIS, FABRIZIO;PIRRI, Candido;
1997
File in questo prodotto:
Non ci sono file associati a questo prodotto.
Pubblicazioni consigliate
I documenti in IRIS sono protetti da copyright e tutti i diritti sono riservati, salvo diversa indicazione.
Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento:
https://hdl.handle.net/11583/1661246
Attenzione
Attenzione! I dati visualizzati non sono stati sottoposti a validazione da parte dell'ateneo