Comparison between methane and acetylene as carbon sources for C-rich a-SiC:H films / F., Demichelis; G., Crovini; Giorgis, Fabrizio; Pirri, Candido; Tresso, Elena Maria. - In: DIAMOND AND RELATED MATERIALS. - ISSN 0925-9635. - 4:(1995), pp. 457-460.

Comparison between methane and acetylene as carbon sources for C-rich a-SiC:H films

GIORGIS, FABRIZIO;PIRRI, Candido;TRESSO, Elena Maria
1995

1995
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