Surface analysis and defect characterization of 4H-SiC wafers for power electronic device applications / Scaltrito, Luciano; Fanchini, G.; Porro, Samuele; Cocuzza, Matteo; Giorgis, Fabrizio; Tresso, Elena Maria; Pirri, Candido; Mandracci, Pietro; Ricciardi, Carlo; Ferrero, Sergio; Sgorlon, C.; Richieri, G.; Merlin, L.. - In: DIAMOND AND RELATED MATERIALS. - ISSN 0925-9635. - 12:(2003), pp. 1224-1226.

Surface analysis and defect characterization of 4H-SiC wafers for power electronic device applications

SCALTRITO, LUCIANO;PORRO, SAMUELE;COCUZZA, MATTEO;GIORGIS, FABRIZIO;TRESSO, Elena Maria;PIRRI, Candido;MANDRACCI, Pietro;RICCIARDI, Carlo;FERRERO, SERGIO;
2003

2003
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