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Characterization of polycrystalline SiC layers grown by ECR-PECVD for micro-electro-mechanical systems
2003 Ricciardi, C.; Bennici, E.; Cocuzza, M.; Mandracci, P.; Bich, D.; Guglielmetti, V.; Barucca, G.
Microstructure analysis on polycrystalline 3C–SiC thin films
2005 Ricciardi, Carlo; Giorgis, Fabrizio; G., Fanchini; Musso, Simone; V., Ballarini; Bennici, Erica; G., Barucca; Rossi, Andrea Mario
| Citazione | Data di pubblicazione | Autori | File |
|---|---|---|---|
| Characterization of polycrystalline SiC layers grown by ECR-PECVD for micro-electro-mechanical systems / Ricciardi, C.; Bennici, E.; Cocuzza, M.; Mandracci, P.; Bich, D.; Guglielmetti, V.; Barucca, G.. - In: THIN SOLID FILMS. - ISSN 0040-6090. - STAMPA. - 427:1-2(2003), pp. 187-190. [10.1016/S0040-6090(02)01222-1] | 1-gen-2003 | Ricciardi C.Bennici E.Cocuzza M.Mandracci P. + | Characterization of polycrystalline SiC layers grown by ECR-PECVD for micro-electro-mechanical systems.pdf |
| Microstructure analysis on polycrystalline 3C–SiC thin films / Ricciardi, Carlo; Giorgis, Fabrizio; G., Fanchini; Musso, Simone; V., Ballarini; Bennici, Erica; G., Barucca; Rossi, Andrea Mario. - In: DIAMOND AND RELATED MATERIALS. - ISSN 0925-9635. - 14:(2005), pp. 1134-1137. | 1-gen-2005 | RICCIARDI, CarloGIORGIS, FABRIZIOMUSSO, SIMONEBENNICI, EricaROSSI, Andrea Mario + | - |
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